光刻机|ASML再次公开表态，中芯国际DUV光刻机却未到，背后原因值得深究( 二 )

但ASML全球副总裁、中国区总裁沈波这次表态时谈到，由于全球缺芯导致的光刻机需求增大，虽然ASML已经在尽力扩大产能，但依然不能满足用户需求。并且由于涉及的几千家配套供应商只能提供85%的零部件，因此有的产品交付期甚至要翻倍。

这意思就是说，光刻机的订单太多， ASML虽能扩大产能，但供应商的配套部件跟不上，导致光刻机交货期也得延长。这也许是中芯国际订购的DUV未能如期交货的原因之一，但应该不止这个原因，仔细想一想，美方阻挠或许是光刻机未交货的另一原因。
要知道，中芯国际也被美列入了实体清单，进行出口管制，禁止向中芯国际出口可用于10nm以下先进制程的设备。后来因为缺芯，又放开了中芯国际14nm及以上成熟制程设备的许可。但之后，又有美议员建议，希望阻止ASML出售DUV给中芯。

值得一提的是，这次沈波并未透露关于中芯国际DUV光刻机消息及未到货的原因。但据ASML财报信息显示，第三季度出货79台光刻机，我国大陆占10% ，还是ASML的第三大市场，估计DUV光刻机问题不大。但中芯国际也并未完全依赖ASML ，据了解也在参与测试国内光刻机，希望能够尽快顶替ASML光刻机，真正实现自主！