光刻机|ASML再次公开表态，中芯国际DUV光刻机却未到，背后原因值得深究

【光刻机|ASML再次公开表态，中芯国际DUV光刻机却未到，背后原因值得深究】

由于全球缺芯问题的持续，全球各大晶圆制造厂商纷纷计划扩大产能，这让光刻机的需求不断增加，荷兰ASML因此营收、利润双双大涨。不过大家有没有注意到，关于向我国出货光刻机，距之前ASML总裁四次表态后再无消息。如今，消息再次传来。

ASML再次公开表态
近年来，我国对半导体设备的需求增长迅速，去年已经成为全球最大的半导体设备市场。这些设备包括晶圆加工、封装、测试及其他前端设备，最重要的、也是需求最大的当属光刻机。而面对我国这样的全球最大的市场需求，荷兰ASML当然也非常重视。
于是， ASML方面之前曾连续四次公开表态。第一次表示会加快布局我国市场，提供更加完善的售后服务。第二次直接表示向国内厂商销售DUV光刻机，不需要许可。第三次直接提高了对我国市场的营收预期。第四次表示向我国出售光刻机持开放态度。

这个第四次表态，已是ASML去年参加上海进博会时的表态了，之后再无其他有关消息。只是看到，最近ASML向上海科普教育发展基金会捐赠50万元，并赞助了第十八届上海未来工程师大赛。昨天， ASML再度亮相上海进博会，就光刻机再次表态。
这次表态的是ASML全球副总裁、中国区总裁沈波，他表示向我国出口集成电路光刻机持开放态度，在法律法规框架下全力支持。不过， EUV光刻机依然无法出货给大陆客户，但除此之外其他产品都可以出货。也就是说， DUV光刻机不受其他限制。

DUV光刻机却未到货
从ASML的这次表态来看， EUV光刻机依然没有希望，这个消息再次令中芯国际失望。要知道中芯国际在三年前就花1.5亿美元，跟ASML订购了一台EUV光刻机，原本应该于2019年初就交货，但由于美方阻挠， ASML拿不到许可证，至少未交付。
鉴于目前的形势，中芯国际对EUV光刻机的消息，应该也在预料之中，好在还可以获得DUV光刻机。并且在今年3月初，中芯国际还宣布和ASML签订了延长采购协议至今年年底，协议总价为12亿美元。这个金额，应该可以购买几十台DUV光刻机。

这样， DUV光刻机应该没有问题了。也正是因为这个晶圆制造最重要的设备有底了，中芯国际才开始大举扩产，连续三次加码28nm及以上成熟产能，投资497亿元在北京建厂后，又投资23.5亿美元在深圳建厂，后又投资88.7亿美元在上海建厂。
加上这次ASML的最新表态，按说DUV光刻机能够如期到货。但问题是，据某媒体报道，目前中芯国际跟ASML续签的这个订单的DUV光刻机还没有到货。并且随着采购协议的最后期限临近，恐怕这笔订单将要跳票，从而危及中芯国际的扩产计划。

背后原因值得我们深究
不过，这个中芯国际跟ASML订单的DUV光刻机至今没有交付，这个消息是否属实还没有官方消息。当然，我们也没有得到中芯国际DUV光刻机到货的消息。那么，如果DUV光刻机没有如期到货，而ASML表态又不受限制，到底会是什么原因呢？