引进与培养突破半导体设备人才难题( 二 )

做深与做精对标国际清洗设备大厂
若名芯半导体基本走了这样一条国际转移的道路，以晶圆高端单片清洗设备为切入点，复制原有的国际经验，迅速建立起与国际主流基线技术产品完全兼容的集成平台，然后再在此基础上进行新的开发。目前，若名芯的第一代产品研磨后清洗设备、最终清洗设备、外延片清洗设备都已经通过认证并出货至国内大硅片厂商。
从2019年公司建立到第一台设备出货，只用了17个月的时间。不到2年时间公司即有了自我造血的功能，这个进度在行业内是比较快的了。 “我们已经申请6项发明专利、16项实用新型专利和4件软件著作权，知识产权涵盖硅片CMP（化学机械抛光）后清洗工艺、整机方案、核心部件、配套设备的设计方案等。 ”余涛说。
对于下一步的发展，余涛表示，公司将进一步深挖半导体清洗设备，把这个领域做深做精。全球半导体清洗设备行业的龙头企业主要是迪恩士（DainipponScreen）、东京电子（TEL）、韩国SEMES、泛林半导体等。其中，迪恩士占据了全球半导体清洗设备45.1%的市场份额，它也是余涛对标的目标。
近年来，我国半导体清洗设备产业迅速发展，本土化率不断提升。从2019年中国半导体清洗设备招标采购份额来看，我国半导体清洗设备的本土化率已经超过了20% 。这个数值远远超过了其他大部分半导体设备的本土化率。与此同时，我国半导体清洗设备产业也涌现出了一批优秀的龙头企业，如盛美半导体、北方华创、沈阳芯源等。
根据余涛的想法，目前国内清洗设备企业以纯水清洗设备为主，国外企业的优势在于强酸强碱，特别是高浓度、高温度清洗设备方面。若名芯希望从国外企业优势领域切入，在高端市场发力。
本文为《中国电子报》2021年度大型系列专题报道“强链补链在行动”苏州篇中的一篇，读者如对该系列专题报道感兴趣，请洽编辑部010-88558517
编辑丨连晓东
【引进与培养突破半导体设备人才难题】美编丨马利亚

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引进与培养 突破半导体设备人才难题( 二 )

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