光刻机|又一领域我国全球领先！曾对美禁售15年，还是EUV光刻机核心元件( 二 )

除了KBBF晶体外，陈创天团队还发现了性能更好的LSBO晶体，也是下一代深紫外非线性光学晶体。陈教授一直默默无闻从事研发工作，直到2014年才选择退休。
值得骄傲的是2013年中科院网站就公布了，在深紫外固态激光源系列前沿装备通过了验收，我国成了世界上唯一一个能够制造实用化深紫外全固态激光器的国家。而这背后就是陈教授多年默默无闻的付出。
同年，陈创天院士获得国际晶体生长协会最高奖之一——Laudise奖。
【光刻机|又一领域我国全球领先！曾对美禁售15年，还是EUV光刻机核心元件】
半导体激光
2018年10月，陈创天教授已经仙逝，如今很多人没有听过他的名字，也不知道他为我国晶体发展作出的贡献。
那写到最后可能就有人问了，为什么中国拥有KBBF光源技术，为啥就不能自己生产EUV光刻机呢？
实际上，虽然KBBF晶体虽然是EUV光刻机的核心元件，但是一台光刻机的内部零件高达10万个，对每个零件的精密度要求都非常高，而这些零件有几十个国家的产业参与，其中光学器件和镜头来自德国，轴承由瑞典提供，控制软件来自于美国，复合材料用的是日本的产品。其中很大一部分，我国在相关技术领域仍然处于中低端，因此也就无法制造工艺水平较高的光刻机。