介绍PCB使用等离子体清洗设备的维修方法在印刷电路板工业中|等离子体清洗设备的保养( 二 )

(3)用城市水彻底冲洗支架3分钟。
(4)将托板架浸在硫酸和水(按重量为5%)的溶液中一分钟(不可干燥) ，立即进入下一步操作(此步骤主要是除去氧化层，干燥后氧化层会再次附着，难以冲洗)
(5)用蒸馏水冲洗托板架两次，每次3分钟。
(6)将托板架彻底干燥(最好先用布擦干) 。
(7)安装托板架滚轮，必要时更换滚轮子绝缘衬垫
2、气体管道检验：采用气体质量流量控制器测量机台气质量流量控制器，参照检测值对机台气体质量流量控制器进行校正。同样可以参照同腔真空度检查，关闭总阀后，检查显示的是O2、N2、CF4管道通道压力数值，如果发现数值有变化，请用肥皂水喷在燃气管道接口处观察，若有气泡出现，请重新更换接头。
3、冰水及热能转换系统保养：冰水机和模温机检查，等离子除胶过程温度控制在85℃ ，电极的热量转换液通过模温机进行温度调节。在实际应用中使用纯水时，还是会有相当一部分杂质与铝发生腐蚀反应，形成积垢。一旦水垢过多，铁氟龙管和接头都会老化、堵塞， PCB等离子机除胶过程温度不稳定。对热循环进行定期检查，如果发现老化需要及时更换氟铁管和接头。热压机是通过加热棒和冰水冷却液来调节的，一般说PID整定是固定的，模温机输出的温度不会有任何偏差。但是要定期去检查实际生产中的空腔温度是否与模温机设定温度一致，温度达到要求所需的速度。如发现实际生产温度与模温机温度不一致，应检查箱体内温度分布情况，这也是造成脱胶不均匀的原因。气温升得太慢需要检查热循环的管路。
4、冰水机通常是循环冰水，使冷却液冷却。该装置有两套水系统，一种是循环冰水，另一套是冷芯冷却转换水；两组过滤棉芯，任一过滤棉堵塞不顺畅，就会出现冰水超温，真空泵都会超温，设备出现了故障，必须定期检查棉芯。
真空泵保养：检查真空泵的油位和油位纯度，观察油位窗口，发现油位接近最低红线刻度，并在红标线上、下位置加油。

常规维护程序：等离子设备在使用过程中，空腔中出现了一些残留物和氧化层，在开发初期，该薄层不会影响设备的操作或成品。但在持续运行后发现，除胶效果并不稳定，会感觉到细微变化，所以在使用一段时间后还是需要将托板架与电极进行清洁翻新。在设备出现故障的同时也直接反映了设备的维护程度。如果进行适当的维护和翻新，电极的使用寿命可以达到最高预期使用寿命。因此对等离子清洗设备的原理和构成进行可行性维护是非常重要的。
真空环境(真空检测器，密封腔)、高能(RF、温度、气体处理)和介质(腔体、电极、支架)是等离子设备的三大条件。于是等离子设备的保养应从以上几个方面入手，按照保养项目划分周期分为每日、周、月、半年、一年、二至三年。
当前，采用等离子除胶技术取代传统的溶剂脱胶和高温氧气脱胶，已取得了显著的效果。生产实践中，不仅影响等离子除胶的工艺技术，而且还涉及到设备的稳定性，如工艺气体的微量泄漏、电极支架上的烃基残留、腔体内其它管道的氧化程度，以及设备本身不同程度的故障，这些都是在PCB制造过程中直接影响到生产。所以，做好等离子清洗设备的维护保养是十分必要的。