中科院长春光机所进口德国最先进的EUV镜头镀膜设备,华为有救了?

万众期待的传说中的EUV光刻机原型机源头中科院长春光机所，进口了德国最先进的EUV镜头镀膜设备--Nessy1900,那么华为有救了吗？

我在阅读光机所的一篇论文中看到了这台设备的测试，据我初步了解， Nessy系列是德国FraunhoferIOF研究所1999年开始研发的EUV镜头多层膜镀层设备， 2003年推出第一代Nessy1EUV多层膜镀膜系统；2005年为Cymer提供第一块320mm直径的高温EUV收集镜头；2008年为Cymer提供了第一块660mm的EUV收集镜头。

而据FraunhoferIOF公开资料显示，其660mm的EUV近球面收集镜头，多层膜的厚度精度可达0.015nm 。很多朋友不理解这个数据，但是没关系，相信科学就好：图4是FraunhoferIOF根据X射线衍射测量的一块EUV反射镜球面上不同位置的多层膜的d值，也就是一个Mo/Si层的厚度数值，可以看到测量的这块反射镜的厚度精度达到0.03nm 。

【中科院长春光机所进口德国最先进的EUV镜头镀膜设备,华为有救了?】最后我们来看一眼Nessy1200的官网宣传，而Nessy1900正是最先进的一个可镀660mmEUV镜头的型号。长春光机所买了德国历时10年开发的先进EUV镜头镀膜设备，一举突破多层膜技术核心。咱们算是掌握核心技术了吗？