目前国内光刻机的难点在于光刻机核心部件无法掌握 ， 比如光源和物镜 ， 日本和德国的技术经过了多年的积累已经很成熟 ， 中国的光刻机技术还仍需继续追赶 ， 虽然很不容易 。 另外在光刻机研发的自主性上 ， 要建立更完善的系统来防止美国的“卡脖子” 。
中国在光刻机的研发上还需要继续努力 ， 虽然长路漫漫 ， 但是只要各界人士团结一致 ， 中国一定可以实现光刻机自主 。
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