光刻机|事关EUV光刻机,ASML这次遇到了问题



要想生产制造芯片 , 就必须要有光刻机;要想生产先进制程的芯片 , 像5nm等制程芯片 , 就必须要有更先进的EUV光刻机 。
在全球范围内 , EUV光刻机是目前最先进的技术 , 也只有ASML能够生产制造 , EUV光刻机被生产制造出来后 , 就被台积电、三星以及英特尔等厂商争相抢购 。
结果由于EUV光刻机太抢走 , 大部分都给了台积电 , 剩下了给三星、英特尔等厂商 , 由于缺少EUV光刻机 , 三星李在镕亲自前往荷兰ASML协商供货事宜 。
即便如此 , 三星还是没能获得想要的EUV光刻机 , 而ASML仅仅是在韩国建设了EUV光刻机再制造工厂 , 言外之意就是让三星使用翻新的EUV光刻机 。
日前 , ASML正式对外公布了新一季度的营收数据 , 虽然营收和利润增长明显 , 但ASML未交付的EUV光刻机订单总额高达30多亿欧元 。
数据显示 , 一台EUV光刻机的售价1.2亿欧元左右 , 这意味着ASML有将近30台的EUV光刻机还没有交付 。
要知道 , ASML在2021年上半年交付了20台EUV光刻机 , 计划今年下半年交付25台EUV光刻机 , 由此可见 , ASML后半年的产能仍不能满足已接收的订单 。
另外 , ASML计划在明后两年分别生产制造55台和60台EUV光刻机 , 按照目前的订单积压量等情况来看 , ASML的EUV光刻机的产能仍是不足 。
而且 , ASML已经发布了预期 , 由于全球芯片 , 光刻机的需求大涨 , 而ASML预计会在2025年实现将近300亿欧元的营收 。
也就是说 , ASML的EUV光刻机在未来几年内还将处于一个缺货状态 , 这对于ASML而言 , 是一个比较难以解决的问题 。
首先 , EUV光刻机需求实在很大 。
据悉 , 全球芯片企业都在积极扩产 , 其中 , 三星在美建设3nm芯片生产线 ,而台积电在美建设5nm芯片生产线 , 这两个工厂就需要大量的EUV光刻机 。
另外 , 台积电还计划进一步扩产Seven纳米等制程的芯片 , 预计在2023年启动 , 在台湾省新建6座工厂 , 这意味着其需要更多的EUV光刻机 。
要知道 , 台积电等主要生产制造非储存芯片 , 而三星、海力士以及美光等厂商 , 还生产制造储存芯片 。
消息称 , 三星、海力士以及美光等厂商都计划在使用EUV工艺 , 还计划将EUV应用层提升到5层 , 这意味着每条生产线都需要2台EUV光刻机 。
也就是说 , 大量的EUV光刻机被需求 , 但ASML的产能却没有那么高 , 要知道 , 目前ASML才出货一百余台的EUV光刻机 。
其次 , ASML的E光刻机生产制造难度高 。
据悉 , EUV光刻机之所以供不应求 , 除了需求大 , 也是因为EUV光刻机生产难度大 , 其元器件数量超过10万个 , 可见其组装、安装难度之大 。
不仅如此 , 一台EUV光刻机是集合全球四十多个国家的顶尖技术 , 像美国的光源技术、德国的镜头技术以及抗腐蚀技术、掩模照明光学系统等 。
要知道 , 这些元器件和系统技术等需要从全球各地运到荷兰的ASML , 然后在荷兰进行组装 , 但1台EUV光刻机运输就多架直升机和十余辆卡车 。
而且 , 安装好的EUV光刻机高度相当于一个厂商的高度 , 由此可见 , 其难度之大 。
再加上 , ASML生产制造出来EUV光刻机后 , 其还需要经过一段时间的调试和测试 。
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