东芝|光刻机巨头ASML,也要被日本“卡脖子”

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ASML的实力在半导体行业早有盛名,如果没有ASML的支持,全球芯片制造行业可能会落后几十年。高端核心芯片无法生产,全球大部分的先进智能产业都会受影响。
可是ASML并非独步全球,哪怕垄断高端光刻机市场,也要被日本“卡脖子”。这是为何?日本半导体实力有多强?
东芝|光刻机巨头ASML,也要被日本“卡脖子”


ASML也被日本卡脖子
光刻机作为芯片制造的核心设备,是芯片制造过程中必不可少的。全球能够生产光刻机的厂商并不多,而ASML可以说是排在行业第一的位置。没有第二家厂商可以争夺ASML高端光刻机供应商的位置。
但是ASML也有无奈的一面,因为大部分的核心技术都不是自己的。了解EUV光刻机的人都知道,一台EUV光刻机的背后,其实凝聚了全球科技的力量。
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ASML能生产EUV光刻机,本质上来说只是掌握了组装技术。负责将各国的核心科技组装成完整的设备,如果没有其它国家的支持,ASML将无法顺利开展光刻机制造工作。
有些设备,零部件,技术或许还能找到替代国家,但日本却死死卡住了ASML的脖子。除了日本,再也找不到别国的供应商了。这是为何?
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主要原因在于日本掌握了高端光刻胶材料、镀膜、显影、掩膜板等材料,设备顶级技术。日本企业掌握的这些产品基本上都进入了ASML的供应链。如果是普通的材料或许还不会被日本卡脖子,但因为是用于EUV光刻机生产,一般水准的材料,设备根本无法达到要求。
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【 东芝|光刻机巨头ASML,也要被日本“卡脖子”】以光刻胶为例,本身日本就掌握了全球90%的光刻胶市场份额,达到了垄断水准。想要绕过日本光刻胶生产高端光刻机,高端芯片,难度非常大。以日本JSR,日本信越等日企为主,长期占据光刻胶材料的市场高地。
还有在镀膜,显影这一块,东京电子也成为了ASML的核心供应商。另外根据东京电子透露,将会与ASML合作,向ASML提供镀膜,显影技术,从而推动下一代NA EUV光刻机的生产。
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东京电子凭借领先全球的实力,与ASML合作研发新一代的EUV光刻机技术,这不是一般企业能够做到的。但是卡住ASML脖子的日本企业远不止这些。
在EUV光罩领域,Lasertec也成为了ASML的唯一供应商。Lasertec有二十几年的研发历史,或许外界对Lasertec并不了解,也不明白一个看似普通的光罩为何能花费这么长的研发时间。
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首先要明白,在芯片制造过程中,会出现各种各样的小问题,一个疏忽就有可能导致芯片制造失败。而光罩是一种检测设备,可以检测掩膜板,芯片设计模板是否存在缺陷。
而Lasertec就是全球领先的光罩检测设备供应商。2017年,Lasertec成功突破用于解决EUV光刻的难题,完成可检测EUV光罩基板是否存在缺陷的设备,极大提升了EUV光刻机的生产效率。
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Lasertec也因此成为了EUV光罩领域的垄断者,除了Lasertec之外,放眼全球没有第二家厂商能够达到EUV光罩的水准。甚至完成DUV的光罩检测设备生产都十分困难。