半导体|60岁回国创业，他用17年打造出半导体设备龙头，结束美国日本技术垄断

芯片，无疑是当下最受关注的科技话题之一。整个产业链可以简单理解成一个“3+2”的结构，其中的“3”指芯片的生产过程：设计、生产和封测， “2”指的是半导体设备和半导体材料。
对于半导体设备，光刻机应该是大家最熟悉的，目前最先进的EUV（极紫外）光刻机，全球只有荷兰阿斯麦（ASML）能够生产。刻蚀机是另外一种重要的设备，所谓蚀刻，就是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。
简单来说，造芯片就是把掩膜版上的芯片线路在硅晶圆上雕刻出来。光刻机就好比是描摹图案的笔，把设计好的集成电路图“画”到硅片上；刻蚀机则是在晶圆上雕刻的刻刀，使集成电路实现类似印章一样浮显在硅片上面。

刻蚀机市场，一直被美国的泛林集团、应用材料和日本的东京电子所垄断，三家市场占有率高达90% 。一直到2015年，美国都对中国实施等离子刻蚀机的出口管制。解除封锁背后，要归功于中微半导体。
这是中国最大的晶圆厂刻蚀设备供应商，主要从事刻蚀设备、MOCVD设备等半导体设备的研发、生产与销售，总部位于上海。作为世界上第一家成功研制出5nm精度蚀刻机的企业，其产品已经可以批量生产，并成为唯一进入台积电5nm产线的大陆本土半导体设备厂商。
说到中微半导体，绕不开创始人尹志尧。上世纪40年代出生于北京，从中国科学技术大学化学物理系毕业后，他供职于兰州炼油厂、中科院兰州物理化学所。 78年考入北京大学化学系攻读硕士，随后前往美国加州大学洛杉矶分校留学，拿到物理化学博士学位。
毕业之后，尹志尧开始了16年的硅谷打工生涯，先后在英特尔、泛林、应用材料等半导体行业巨头工作。归国前，他已经是全球最大半导体刻蚀机巨头应用材料的副总裁，其领导和参与开发的刻蚀设备，几乎占到全世界的一半。

04年的上海世界半导体设备展，面对上海经委副主任、北京四中学弟江上舟的盛情邀请，尹志尧的爱国情怀被点燃，决定回国创业。 60岁的他还说服并带回了18位资深华裔工程师，这些人都在硅谷主流半导体设备公司或研究机构工作多年。同年他与其中15位工程师自筹150万美元，创办了中微半导体。
仅仅三年时间，他们就成功研制出第一台CCP刻蚀设备产品。这款机器在业内首次采用可单台独立操作的双反应台，效率比国外同类产品高出30%以上。此后，中微在45nm、22nm、14nm、7nm、5nm介质刻蚀，等离子刻蚀上不断取得突破，只用不到十五年时间，就在技术上基本追平对手三十多年的积累。
中微半导体自主研发的等离子体蚀刻机，也让美国的封锁失去意义。这是芯片制造中的关键设备，精度控制要求非常高。它用来在芯片上进行微观雕刻，每个线条和深孔的加工精度都是头发丝直径的几千分之一到上万分之一。

【半导体|60岁回国创业，他用17年打造出半导体设备龙头，结束美国日本技术垄断】2021年上半年，公司实现总营收13.39亿元，净利润3.97亿元，同比分别增长36.82%和233.17% 。今年5月份有媒体报道称，中微半导体成功研发出3nm蚀刻机，并且完成原型机的设计，制造和测试，目前已进入量产阶段。