爱普生|世界最尖端十大核心科技大都掌握在哪些国家？( 二 )

重要功能：通过机械研磨和化学液体溶解“腐蚀”的综合作用，对被研磨体（半导体）进行研磨抛光。

全球领先企业（品牌）：美国Applied Materials公司、美国诺发系统公司、美国Rtec公司。

9）光刻机（Stepper，Scanner）

重要功能：在半导体基材上（硅片）表面匀胶，将掩模版上的图形转移光刻胶上，把器件或电路结构临时“复制”到硅片上。

全球领先企业（品牌）：大名鼎鼎的荷兰阿斯麦（ASML）公司。还包括美国泛林半导体公司、日本尼康公司、日本Canon公司、美国ABM公司、德国德国SUSS公司、美国MYCRO公司。

10）反应离子刻蚀系统（RIE）

重要功能：平板电极间施加高频电压，产生数百微米厚的离子层，放入式样，离子高速撞击式样，实现化学反应刻蚀和物理撞击，实现半导体的加工成型。

全领先企业（品牌）：日本Evatech公司、美国NANOMASTER公司、新加坡REC公司、韩国JuSung公司、韩国TES公司。

11）ICP等离子体刻蚀系统（ICP）

重要功能：一种或多种气体原子或分子混合于反应腔室中，在外部能量作用下（如射频、微波等）形成等离子体，一方面等离子体中的活性基团与待刻蚀表面材料发生化学反应，生成可挥发产物；另一方面等离子体中的离子在偏压的作用下被引导和加速，实现对待刻蚀表面进行定向的腐蚀和加速腐蚀。

全球领先企业（品牌）：英国牛津仪器公司、美国Torr公司、美国Gatan公司、英国Quorum公司、美国利曼公司、美美国利曼公司、美国Pelco公司。

12）离子注入机（IBI）

重要功能：对半导体表面附近区域进行掺杂。

全球领先企业（品牌）：美国维利安半导体设备公司、美国CHA公司、美国AMAT公司、Varian半导体制造设备公司（被AMAT收购）。

13）探针测试台（VPT）

重要功能：通过探针与半导体器件的pad接触，进行电学测试，检测半导体的性能指标是否符合设计性能要求。

全球领先企业（品牌）：国际：德国Ingun公司、美国QA公司、美国MicroXact公司、韩国Ecopia公司、韩国Leeno公司。

14）晶片减薄机

重要功能：通过抛磨，把晶片厚度减薄。

全球领先企业（品牌）：国际：日本DISCO公司、德国G&N公司、日本OKAMOTO公司、以色列Camtek公司。

15）晶圆划片机（DS）

重要功能：把晶圆，切割成小片的Die。

全球领先企业（品牌）：德国OEG公司、日本DISCO公司。

16）引线键合机

重要功能：把半导体芯片上的Pad与管脚上的Pad，用导电金属线（金丝）链接起来。

全球领先企业（品牌）：美国奥泰公司、德国TPT公司、奥地利奥地利FK公司、马来西亚友尼森（UNISEM）公司。

二、工业机器人—（日本，德国、美国、瑞士）

重要功能：工业机器人是面向工业领域的多关节机械手或多自由度的机器人。工业机器人是自动执行工作的机器装置，是靠自身动力和控制能力来实现各种功能的一种机器。它可以接受人类指挥，也可以按照预先编排的程序运行，现代的工业机器人还可以根据人工智能技术制定的原则纲领行动。对全球机器人技术的发展最有影响的国家是美国和日本。美国在工业机器人技术的综合研究水平上仍处于领先地位，而日本生产的工业机器人在数量、种类方面则居世界首位。