光刻机|关于EUV光刻机等,中芯国际表明态度了

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光刻机|关于EUV光刻机等,中芯国际表明态度了

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要想生产制造先进制程的芯片 , 必须用到ASML的EUV光刻机 , 因为其是目前唯一能够用于生产制造7nm以下芯片的光刻机 。
但由于美国以及ASML自身的原因 , 导致EUV光刻机出现了供货问题 , 一方面是ASML不能自由出货 , 另外一方面是EUV光刻机产能不足 。
据悉 , 台积电一家就拿走了七成的EUV光刻机 , 三星想要更多EUV光刻机 , ASML因为没货 , 不得不在韩国建设EUV光刻机再制造工厂 。

另外 , ASML还积压了大量的EUV光刻机订单 , 多达几十亿欧元 , 国内中芯国际的订单 , 3年了还没有发货 。
其实 , 对于EUV光刻机 , 中芯国际也是希望尽快获得 , 否则 , 中芯国际也表示 , 蒋尚义再次回归 , 将会加速EUV光刻机等设备的到来 。
而且 , 对于中芯国际而言 , 有了EUV光刻机 , 7nm、5nm等芯片技术也会早日突破 , 缩小与台积电、三星之间的差距 。

没有想到的是 , ASML虽然表态欲加速向中芯国际出货EUV光刻机 , 但却将新一代EUV光刻机优先供货英特尔 , 还将启用在美的新办公大楼 , 这无疑是表明了态度 。
在这样的情况下 , 中芯国际也表明态度了 。
据悉 , 中芯国际梁孟松和赵海军公开发表评论称 , 中芯国际进一步在逆境中成长 , 成熟工艺产品的风险进一步降低 。
另外 , 在先进工艺制程芯片上 , 中芯国际也会一步一个脚印 , 提高产品竞争力等 。
虽然在中芯国际是针对芯片表态的 , 但实际上 , 也是就EUV光刻机等表明了态度 。

首先 , 中芯国际表态称成熟工艺产品的风险进一步降低 , 这意味着28nm等成熟工艺芯片的生产制造受美国影响进一步降低 , 甚至是完全不受美国影响 。
即便是没有ASML的DUV光刻机 , 也可以生产制造 , 这因为中芯国际可以用国产设备生产制造成熟工艺的芯片 。
更何况 , 国产全新一代光刻机预计在今年底或明年初下线 , 其也是沉浸式光刻机 , 能够用于7nm以上制程芯片的生产 。

再加上 , 国产光刻胶等已经用于生产7nm芯片 , 用于28nm等芯片自然是完全没有问题 。
最主要的是 , 国内专家已经明确表示 , 国产28nm芯片今年年底量产 , 这意味28nm等成熟工艺的芯片生产线实现了完全国产化 。
其次 , 在先进制程芯片上 , 虽然没有EUV光刻机 , 生产制造难度会增加 , 但中芯国际依旧会一步一个脚印往前走 。
即便是没有EUV光刻机 , 中芯国际仍会研发、制造先进制程的芯片 , 利用DUV光刻机 , 在多次曝光工艺下生产制造7nm芯片等 。

另外 , 中芯国际也在发展先进的工艺等 , 利用先进封装工艺弥补芯片制程上的不足 , 再加上 , 中芯国际还有后续的N+2工艺 , 甚至N+3工艺等 。
最后 , 在EUV光刻机等设备上 , 中芯国际坚持购买 , 但不一定是需要向ASML购买 , 国内厂商的光刻机也是中芯国际采购的对象 。
虽然国内暂时还无法生产制造EUV光刻机 , 但国内厂商正在分步击破EUV光刻机等技术 , 其中 , 光源技术已经有所突破 , 新材料技术也实现突破 。

一旦国内厂商实现全面突破 , 自主量产了EUV光刻机等设备 , 中芯国际自然就选择国内厂商的设备 。