asml|新一代EUV正式下线,ASML完成交付,“中国芯”或将迎来转机

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荷兰ASML公司 , 是全球先进的光刻厂商 , 能生产EUV的唯有它一家 , 不过它的产线上却含有20%以上的美国技术与配件 。 台积电、三星之所以能够在代工领域领航全球 , 正是得益于ASML的优先供给的EUV光刻设备 。
而该设备却是我国半导体产业链中最大的短板 , 随着中美科技战的爆发 , 老美为了遏制我国高科技的发展 , 便出台了所谓的“出口管制规则” , 约束ASML对华出口最先进的光刻设备 。
为了冲破西方的封锁 , 中科院等国内顶尖科研机构纷纷跑步入场 , 主动承担起了EUV的国产化研发工作 。
目睹我国在高精度光刻领域不断取得的成果 , ASML感受到了巨大的危机 。
因为一旦国产高精度光刻机研发完成 , 那么物美价廉的中国产品必然会迅速风靡全球 , 从而形成与ASML分庭抗礼的局面;
其次 , 我国作为全球最大的半导体消费市场 , 近两年的年均进口额超过了3千亿美元 , ASML如果始终不能供货 , 那么未来必然会被排除在中国市场之外 , 这显然是ASML不愿意看到了 。
因此 , 从去年至今 , ASML先后五次示好我国市场 , 首席执行官Peter也曾表示:乐意提供技术与设备的支持 , 帮助中国加速半导体产业链的建设 , 未来会加大在华的投资 , 以增进与中企的合作 。
事实也的确如此 , 在无法提供最先进的EUV光刻机的情况下 , ASML申请到了相对较为落后的DUV光刻机的供货许可 。 公开资料显示 , ASML去年出口到我国市场46台DUV光刻机 , 今年截至目前 , 已出货了11台 。
值得强调的是 , 我们几乎是以EUV的价格进口到了这57台DUV光刻机 。 虽然ASML多少有些趁火打劫的意思 , 但这些光刻设备的确给我国半导体的发展带来了巨大的推动作用 , 据统计数据显示 , 得益于DUV光刻机 , 国内成熟工艺制程芯片的日产能 , 已经超过了10颗!
而近日 , ASML传出了一个重磅消息 。
据外媒报道 , ASML所研发的新一代EUV光刻机(TWINSCAN NXE:3600D)已正式下线 , 它的性能相较于上一代EUV光刻机(3400C) , 能将芯片制造产能提升20% 。 而且成功交付给了下游神秘产商 。
这对于受困于高精度光刻机的国产芯片产业而言 , 或许是一个很好的转机 。
之所以这么说 , 并不是指ASML新一代光刻机交付给了我国半导体市场 , 而是随着更先进光刻机的诞生 , 型号为3400C 的上一款EUV或将实现自由出货 。 因为老美的出口管制规则 , 所约束的只是ASML最先进的设备 。
何况 , ASML方面一直在积极地谋求与我国达成EUV交易的计划 , 为此 , 甚至两度发声警告老美芯片断供的不合理 。 由此可见 , ASML不会放弃这次“可合理申请供货许可”的机会 。 这意味着 , 我们进口到3400C EUV是有可能的 。
如今 , 国内高端芯片制造产线中 , 独缺EUV设备 , 而中芯国际也不止一次地透露 , 我们的制造技术并不比海外落后 , 只要有EUV设备 , 就可以做到像台积电、三星一样 , 实现5nm高端芯片的量产 。
所以才会说 , ASML新一代EUV的正式下线 , 是“中国芯”的转机 。
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