光刻机|中芯国际订购的EUV光刻机何时交货？ASML CEO口风变了

近日，国产芯片巨头中芯国际发布公告，正式向近4000名员工授予股权激励，其中联席CEO梁孟松获得了40万股。而在此之前，梁孟松还获赠了一处价值2250万元的房产。
很显然，因为芯片短缺而近期业绩飙升的中芯国际，此举主要是为了留住公司本来就十分紧缺的技术人才。而作为芯片界顶级人才的梁孟松，带领中芯国际在三年内就完成了从28nm到7nm工艺的研发，实现了跨越式发展，可以说梁孟松就是中芯国际先进制程开发的关键人物。

然而，就是这样一个不可或缺的“灵魂人物” ，曾经在去年提出过辞职。这其中除了当时中芯国际引进蒋尚义产生的一些误会，实际上还有一个重要的因素，那就是因为订购的EUV光刻机迟迟不能到货，已经影响到了中芯国际更加先进的工艺研发进程。
根据梁孟松透露的消息，当时中芯国际14nm、12nm以及N+1等工艺技术都已经进入规模量产， 7nm的技术已经开发完毕即将风险量产，甚至5nm和3nm的一些关键技术都展开了，但必须等待EUV光刻机到来之后，才能够全面开发。

我们知道，中芯国际早在2018年就向ASML公司订购了一台新型EUV光刻机，本来应该在2019年交货的，但由于美国的阻挠， ASML一直没能获得该台光刻机的出货许可，中芯国际也就无法获得这台光刻机，实际上影响到了最先进工艺的研发。
如今中芯国际不惜重金留下了梁孟松，一方面确实是梁孟松人才难得，另一方面也足见中芯国际继续研发先进制程的决心。而能否继续开发更先进的制程，目前的关键还是中芯国际订购的EUV光刻机何时交货？这也是很多人都关心的问题，大家都把希望寄托在ASML公司的极力争取上面。

而在近日， ASML公司CEO也对此再次表态。在几天前的第二季度业绩发布会上，针对向中国出货最先进光刻机的问题， ASML 公司的CEO 坦言，该公司将不得不“静观其变” 。与以往多次强调已提交申请并积极争取获得许可相比，这一次口风变了。看来ASML也没有更好的办法了。
这是一个对双方都非常遗憾的状况。根据外媒的消息，漂亮国最近再次阻止ASML向中国公司出售最先进的光刻机，甚至以限制光刻机零部件供应相威胁。而一台光刻机需要上十万个零部件，其中光源等核心部件都来自美国公司， ASML也不可能为了卖一台EUV光刻机不顾警告，而损失了自己的供应链。何况现在ASML每年只能生产五六十台EUV光刻机，远远不能满足台积电、英特尔、三星等合作伙伴的需要。

因此，如果要问中芯国际订购的EUV光刻机何时能交货？ASML CEO的口风变了，话虽然说得很委婉，但背后的意思已经很明显，这个事情可能会无限期拖下去。而实际上从目前的现状看，中芯国际在短期内是无法获得EUV光刻机了。
中芯国际对此也是早有预判。在2021年的资本开资项目中，大部分都计划用于成熟工艺的扩产和可靠性拓展，比如在深圳建设28nm生产线；只有小部分用于先进工艺的研发，包括加强第一代、第二代FinFET多元平台的开发和布建。由于无法获得EUV光刻机，以及实体清单的限制，中芯国际明显压缩了先进工艺研发的投入。