阿斯麦|越来越重要的ASML( 二 )

ASML 总裁兼首席技术官 Martin van den Brink 表示，经过一年多的谈判，ASML 于 1999 年加入。该公司的其他合作伙伴包括比利时的 Imec 研究中心和另一个美国财团 Sematech 。ASML 后来吸引了英特尔、三星电子和台积电的巨额投资，以帮助其发展。
由于极紫外光的特性，这种发展变得更加棘手。光刻机通常通过透镜将光聚焦以在硅片上投射电路图案。但是小的 EUV 波长会被玻璃吸收，因此镜头将无法工作。镜子，另一种常见的直射光工具，也有同样的问题。这意味着新的光刻技术需要带有复杂涂层的反射镜，这些反射镜结合起来才能更好地反射小波长。
因此，ASML 求助于拥有 175 年历史的德国光学公司和长期合作伙伴蔡司集团。它的贡献包括一个两吨重的投影系统来处理极紫外光，其中有六个特殊形状的镜子，这些镜子在使用离子束去除缺陷的复杂机器人过程中经过数月的打磨、抛光和涂层处理。
Martin van den Brink先生说，产生足够的光线来快速投影图像也导致了延迟。但是，ASML 于 2013 年收购的圣地亚哥公司 Cymer 最终改进了一个系统，该系统将来自高功率激光器的脉冲引导到每秒 50,000 次的锡液滴上——一次是将它们压平，第二次是将它们汽化——以创造强光。
新系统还需要重新设计的称为光掩模的组件，它们在投影电路设计中就像模板一样，以及沉积在硅片上的新化学物质，当暴露在光线下时会产生这些图像。日本公司现在供应大部分这些产品。
自 2017 年 ASML 推出商用 EUV 设备以来，客户已经购买了大约 100 个。买家包括三星和台积电，这是其他公司设计的最大的服务生产芯片。台积电使用该工具制造 Apple 为其最新款 iPhone 设计的处理器。英特尔和 IBM 表示 EUV 对他们的计划至关重要。
“这绝对是人类制造的最复杂的机器，”IBM 高级副总裁 Darío Gil 说。
荷兰对向中国出口此类机器的计划自 2019 年一直延迟，但对 ASML 的财务影响不大，因为它有来自其他国家的订单积压。但该公司约 15% 的销售额来自在中国销售旧系统。
“我希望常识会占上风，”Martin van den Brink先生说。

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