EUV|与ASML合作的镜头厂商：造出地球最平镜面，用于EUV光刻机

众所周知，全球最强的光刻机厂商是ASML，目前最先进的EUV光刻机，只有ASML能够造出来，其它的所有光刻机厂商甚至连EUV光（极紫光外线）都生产不出来，更不要说将EUV光控制起来进行光刻了。
但其实ASML的所有技术、甚至零件也并不是自己生产的，严格的来讲，ASML也只一家方案整合商，整合了众多厂商的技术，与一些关键厂商深度捆绑，最终把EUV光刻机造了出来。
【 EUV|与ASML合作的镜头厂商：造出地球最平镜面，用于EUV光刻机】

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今天给大家介绍的是给ASML的提供EUV光刻机镜头的厂商，它就是德国的蔡司半导体（Zeiss SMT）。Zeiss SMT估计很多人是听说过的，是当前世界上最顶级的光学技术企业，它的工艺堪称一绝，精度控制让人叹为观止，在各种光学设备中，都是处于世界领先地位的，比如近视眼镜，相机，镜头等等。
直到现在，“地球上最平整”的镜面，仍然只有德国的Zeiss SMT可以造出来，而这样的镜面就被用在了最先进的5nm EUV光刻机上，这样的镜面究竟有多平整？要求是起伏度要低于在地球表面大小的平面上放一根头发丝。

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在EUV光刻机中，ASML用到的Zeiss SMT的这种镜面也叫做布拉格反射器，它的作用是把四散发射的极紫外线收集成束、变成方向可控的光线。这个反射器的直径只有30厘米左右，但如果把它整体放大到整个云南省那么大，最厚的介质层也只有1毫米那么厚，这就是大家认为的最牛技术，也是目前宇宙中最平滑的表面。

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而为了与Zeiss SMT合作，在2016年11月，ASML出资10亿欧元，购买了Zeiss SMT公司24.9%的股份，并承诺在2022年之前投入5.4亿欧元，支持Zeiss SMT的研发，同时表示要再投钱继续推动蔡司研发新一代EUV光刻设备将要搭载的更大数值孔径光学系统。而目前在EUV领域，Zeiss SMT和ASML是整个EUV领域技术专利申请量排名第一和第二的选手，没有对手。
所以一定程度上说，ASML与Zeiss SMT其实就是一体的，双方合作形成了极高的竞争壁垒，其它厂商想要生产EUV光刻机，没有Zeiss SMT根本就不行，但Zeiss SMT偏偏又不会帮你，所以除ASML外，没有人能够生产出EUV光刻机。