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不只中科院 ， 我们不少知名大学的研发团队也在研发EUV相关技术 。 比如清华大学团队就研发了新一代EUV光源技术 ， 北京大学团队突破了可用于EUV的电镜技术 。
近日 ， 南京大学团队又传来好消息 ， 成功实现了国际首支宽禁半导体pn结型EUV探测器 。 据介绍 ， 这个极紫外EUV探测器是新一代EUV光刻机等领域的关键部件 。
可见 ， EUV光刻机的技术壁垒正在逐步打破 ， 估计连ASML也没想到这么快吧 。

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当然 ， EUV光刻机集成了全球多项顶尖的技术才做出来的 ， 想要突破肯定不容易 。 但我们也有自己的优势 ， 就是集中力量办大事 ， 哪儿有限制 ， 我们就全力去突破它 。
有了突破的劲头和决心 ， 不管EUV有多难 ， 只要一点点去做 ， 根本难不倒我们！

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