结果出炉，事关国产光刻机，ASML：中企已经开始说再见了( 二 )

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但从积塔的此次招标中却能明显看出，国产工艺检测设备技术已然达到了比肩甚至是超越ASML的水平。也就是说，国产光刻机的供应体系基本已经趋于完善，在其他辅助设备都能保持高精尖水平的情况下，距离国产光刻机的崛起还会远吗？
事实上，目睹中企在工艺检测设备技术方面的不断崛起，被触碰到敏感神经的ASML也并没有眼睁睁的保持沉默。

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在前不久， ASML就曾公开表示，怀疑国产光刻厂商东方晶源微电子的12英寸电子束缺陷检测设备CD-SEM ，存在对ASML专利技术的侵权行为。而且，在没有实证的情况下， ASML仅凭臆想就通知并要求其上下游供应商终止与东方晶源的业务往来。
【结果出炉，事关国产光刻机，ASML：中企已经开始说再见了】如果让ASML得逞，那么东方晶源的检测设备供应业务必然会遭遇重创。但让国人为之振奋的是，东方晶源身正不怕影子斜，面对ASML的“碰瓷”行为，硬气的发布通告称：公司的相关技术设备全系自研，不存在任何侵权，对于流传的这些不实谣言和构陷，将会追究其法律责任。

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结合上海微电子此次中标，不难看出，经过这些年的不断努力，国内光刻厂商在核心技术方面已经有了相当扎实的储备和根基。
根据此前媒体多次报道的消息显示，上海微电子研发的28nm国产光刻机或将于今年下半年落地，如果ASML还是无法出口尖端EUV光刻机，那么，它所能拿的出手的对我国市场有吸引力的光刻设备类型还有什么呢？届时，中企或许就真的要与之说再见了。