这充分说明 ， 我们在突破EUV光刻机并不是空穴来风 ， 而是已经进入到重要阶段 。
对于EUV技术的研究 ， 我们也应该都有体会 。 之前长春光机所就突破了光源方面的技术 ， 最近上海光机所又突破了光刻机方面的好几项技术 ， 可见技术突破越来越多 。

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对于这个局面的出现 ， ASML是最不想看到的 ， 应该也是最明白了 。 怪不得 ， 之前ASML总裁连说话的语气都变了 ， 从我们不可以做出 ， 到我们会尝试 ， 不是完全不可能 。
ASML总裁还说不出15年我们会突破所有 ， 现在情况看 ， 根本用不了那么长时间！

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