进展|8英寸碳化硅单晶研究取得进展( 二 )

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图三.8英寸4度偏角(4°off-axis)SiC晶片(0004)面的X射线摇摆曲线
【进展|8英寸碳化硅单晶研究取得进展】编辑:荔枝果冻
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