光刻机|盛极而衰：拒不提供EUV光刻机的ASML已经不再被需要

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ASML
已经过去的2021年对于光刻机巨头ASML来说无疑是十分成功的一年，营业收入达到186亿欧元，净利润为59亿欧元，毛利率为52.7% 。随着芯片需求的迅猛发展， ASML对于2022年的形势更是看好，提出销售额增长20%达到223亿欧元的目标。
但是最近ASML的一系列做法特别是拒绝销售EUV光刻机的选择让其逐步陷入了争议之中，特别是在国产光刻机下线在即，俄罗斯和日本也先后决定推出新型光刻机的时刻， ASML或许不再是必须的存在。

俄罗斯开始研发X射线光刻机
俄罗斯决定绕开EUV光刻机【光刻机|盛极而衰：拒不提供EUV光刻机的ASML已经不再被需要】第一个站出来抛弃ASML是俄罗斯。由于ASML选择断供，因此俄罗斯也终于做出艰难的决定——那就是开始自研先进光刻机。得益于以往技术的积累，俄罗斯选择了一条不同于EUV（极紫外线）的X射线路线。
从光源上来看， EUV（极紫外光）的波长为13.5nm ，而X射线的波长则介于0.01nm到10nm之间，因此理论上来说X射线同样也可以用在包括5nm及以下先进制程中；同时基于X射线制成的光刻机还有另一个显著的优点那就是可以直写光刻，因此可以通过节省掉光掩膜版明显减少成本。

佳能将推出3D光刻机
日本也决定另起炉灶第二个表明放弃ASML的是日本。作为曾经的半导体以及光刻机大国，日本拥有尼康和佳能两大昔日的光刻机巨头。但是在半导体产业遭到打压之后，光刻机产业也随之衰落。面对困境佳能和尼康并没有放弃，终于历经10多年的努力研发出3D光刻机。
不同于EUV光刻机，佳能推出的3D光刻机是通过改变光刻模式来挺高密度，进而实现更高性能。这也走出了一条不同于ASML的道路，随着量产的实现也将威胁到EUV光刻机的地位。

EUV光刻机
国产也在积极替换ASML国内对于ASML的替换也正在逐步进行。其实对于EUV光刻机，国内芯片产业链一度抱着共同合作的态度。但是可惜ASML拒绝销售EUV光刻机，这也导致如中芯国际等芯片厂商卡在7nm工艺难以更进一步。
正所谓长痛不如短痛，不管EUV光刻机再好用，性能再高级，不对我们出售那也就没有任何意义，所以越早替换ASML对于国产芯片产业链来说也就越好。

上海微电子正在研发国产光刻机
对于光刻机的突破也需要多个企业的合作才能完成，随着包括华卓精科在光刻机双工件台，北方华创在光刻机热处理设备，沈阳芯源在光刻机清洗设备，上海精测在光刻机量测设备等方向的突破，国产光刻机的突破也在迅速地开展之中。

ASML将不再是必需品
是时候和ASML说再见了自主研发无疑是十分艰难的道路，但也是唯一的道路，随着ASML拒绝销售EUV光刻机，这也证明除了投入时间和精力进行突破之外已经没有第二条路可走，因此也是时候和ASML说再见了。
随着越来越多的企业试图摆脱ASML以及EUV光刻机，情况已经越来越明显。光刻机不是第一个需要被突破的项目，当然也不会是最后一个。但就像高铁、大飞机、光伏等行业一样，只要下定决心去做终归会有成功的那一天。