关于芯片制造 , 乌克兰已经作出决定:暂停供应氖气(Ne)等、半导体制造所需的基础关键加工材料 , ASML担心的事还是发生了……
似乎还会有人“抬不起头”发出质疑、或者出于关心国产:美国半导体企业都“紧张”了 , 咱们中国的半导体企业呢?
事实上 , 虽然在先进EUV光刻机设备方面还有进步的空间 , 但如同此前「国产蚀刻机」通过台积电技术验证……我们自给自足的氖气(Ne)等供应企业 , 相当的靠谱!
早在大约5年前的2017年 , 国内可以供应「光刻气体」级别的某家企业(具体是哪家企业 , 行业都很清楚 , 这里避嫌不提了~)就已经通过了荷兰ASML产品技术认证!
所以说 , 在适用于光刻机进行半导体芯片制造、极高纯度的氖气(Ne)供应方面 , 咱们中国的半导体企业完全不用担心!
紫外光源技术的光刻机制造芯片(示意图
值得一提的是 , 不同于美国当地半导体业“依赖”俄罗斯生产制造、乌克兰进一步提纯的「光刻气体」芯片制造基础材料 , 我们中国企业自给自足之余、还面向市场供应!
韩国与日本同样依赖氖气(Ne)进口 , 也跟美国那样从乌克兰采购高纯成品;但这两家也从我们中国市场进行采购 , 韩国半导体行业甚至消耗了我国近60%产能……
援引某份《全球电子稀有气体市场研究报告》数据:2021年 , 我们中国企业进口的氖气 , 仅仅只有4783立方而已~(外界认为 , 这更侧重出于市场化合作共赢的意义)
要知道 , 我国同年出口氖气(Ne)高达65000立方 , 等于出口量约是进口量的14倍!
中国特种气体市场资深分析师「任路」 , 此前接受「环球时报」访谈时也指出:较高纯度的氖、氪、氙是半导体行业刚需 , 却也只是钢铁行业的“副产品”进一步提纯而已~
适用于时下主流的紫外光源技术路线、光刻机设备制造硅基材料芯片的氖气 , 乃至更多「光刻气体」基础材料的全球市场供应紧张 , 不会影响我们中国的半导体产业~
我们“刚好”是全球级、钢铁制造产业的大国……
紫外光源对晶圆进行镭射影印(示意图)
譬如位于我国台湾地区的晶圆厂商——力积电 , 也存在同行 台积电 相关的芯片制造业务 , 其曾在接受媒体问询时透露:1瓶氖气(Ne)大概可以使用2个月左右 。
实事求是的说 , 通过光刻机紫外光源技术制造芯片时 , 需要消耗氖气(Ne)等高纯度「光刻气体」材料 , 却也仅在芯片制造流程「镭射阶段」才会用到……
倘若真如「力积电」所说“自己厂里的氖气(Ne)足够制程6-9个月左右” , 那作为全球市场“数一数二”晶圆大厂「台积电」方面的库存想必只会更多……
所以说 , 一度让荷兰ASML担心“供应失衡”的 氖气(Ne) , 到底是什么?
其实 , 适用于光刻机紫外光源技术芯片制造流程的氖气 , 可以从钢铁制造产业产生的“副产品”进一步提纯而来!
一种无色、无味的稀有惰性气体 , 常温不会自主燃烧、也没有助燃的作用……
人们常见的霓虹灯能够多姿多彩 , 实际上内部就是充装了氖气(不需要极高纯度) , 因为氖气(Ne)被动发生低压放电时 , 基于红色区域会显示出明显的发射谱线!
光源折射后的变化(示意图)
也就是说 , 经过进一步提纯后“身价倍增”的氖气(Ne) , 源于高纯度氖气(Ne)在半导体产业的应用……之所以被应用到了半导体行业 , 则是不断缩小的纳米工艺需求!
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