但是 , 对于XTAL与东方晶源是否存在关联 , ASML当时并未予以回应 , 主要原因可能是缺乏确凿的证据 。
此次 , ASML在2021年度报告中明确指出 , 已要求部分客户暂停与XTAL有关联的东方晶源的业务往来 , 并表示“准备在适当的时候采取法律行动” , 恐怕是已经掌握了一些证据 。
不过 , 据某ASML相关人士向芯智讯透露称:“XTAL的官司早已了结 , 该公司已破产告终 。国内关联的则是东方晶源 , (其相关设备代码)连error code的拼写错误都一模一样 。”
资料显示 , 东方晶源成立于2014年 , 创立之初即确立了以电子束图像检测、关键尺寸量测和计算光刻技术为主攻方向 。
截止目前 , 东方晶源成功自主研发了计算光刻软件(OPC)、纳米级电子束检测装备(EBI)和关键尺寸量测装备(CD-SEM)三款核心产品 , 填补了多项国内市场空白 , 已经成为解决我国集成电路领域“卡脖子”问题的重要力量 , 对全产业链自主可控具有重要的战略价值和意义 。
根据东方晶源公众号消息显示 , 2021年上半年 , 东方晶源的CD-SEM成功出机国内晶圆代工龙头企业 , 市场地位进一步夯实;02国家重大专项、工业强基等项目顺利推进;成功被评定为第三批国家级专精特新“小巨人”企业 。此外 , 在客户的支持下 , 东方晶源一举拿下多个重要订单 , 东方晶源三款核心产品均已在客户产线验证并实现订单 , 三款产品也因此填补国内空白 。
2021年9月 , 东方晶源还宣布已完成新一轮数亿元股权融资 。该轮融资由赛领资本、深创投领投 , 众多知名投资机构联合投资 。东方晶源称 , 此轮融资将有助于其加快在集成电路前道电子束检测、计算光刻系统等核心产品的研发进程 , 加速在集成电路良率管理领域的整体布局 。
根据官网资料显示 , 目前东方晶源申报国内外发明专利146项 , 授权发明专利49项 , 软件著作权14项 , 注册商标15项 。
目前 , 对于ASML此番在2021年度报告当中的指控 , 东方晶源方面并未回应 。
【知识产权|光刻机龙头ASML指控中国企业侵权:要动手了!】
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