自动探针台科普 - 辽宁红网

原创芯片失效分析半导体工程师2022-01-1809:07
一、什么是自动探针台
自动探针台是一种用于电子与通信技术、计算机科学技术领域的工艺试验仪器。主要用于晶圆测试，晶圆尺寸：4英寸,6英寸,8英寸， 12英寸晶圆片装卸：1个载片盒(25或者26个片槽) ，连续的可编程双向加载，快速单片晶圆手动上下片，防晶圆交叉保护XYZ-精度：±3微米。
二、设备外观

三、主要功能
1.TTL专用测试仪接口；GPIB/RS232/网络接口（选配）；与测试机连接方便；
2.Windows风格界面，动态显示测试过程， MAP图实时显示、存储；
3.Map导航功能， map编辑（可编辑标注DIE属性、测试区域）；
4.自动测试方式有矩阵、圆形方式、Map方式；
5.图像对准功能，自动扫描，自动首点对准；
6.同步打点、离线打点功能（可导入map）；喷墨打点，墨点尺寸?0.5mm；
7.分级权限管理；
8.控制打印机打印测试结果；
9.配合上位机，上传并记录测试数据。
四、主要技术指标

五、使用环境：
1.电源：AC220V±22V50Hz±1Hz ，功率：＜1.5KW
2.压缩空气源：>0.7MPa ， 10L/H
3.使用环境：温度：15oC-25oC相对湿度：＜70%
来源：失效分析赵工

半导体工程师
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