在自家车库造芯片?还用到光刻技术?先别吃惊,国外真有人这么干了,而且还是一名高中生。
美国小伙Sam Zeloof从高中开始就尝试自行研发芯片,Zeloof称他最开始是在油管上看到一位博主分享了自制晶体管的视频,很有兴趣,因此自己也开始收集制作芯片所需的原材料和二手设备,为芯片制造做准备。

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2018年4月,17岁的Zeloof发布了自己研发的第一代芯片Z1,Z1采用5微米PMOS(指n型衬底、p沟道,靠空穴的流动运送电流的MOS管)制程,虽然只有6个晶体管,但Z1对Zeloof而言更多是一块设备测试用芯片,当逐渐调试好设备和掌握了芯片的生产流程后,Zeloof未来的目标是制造出能达到英特尔历史上第一款处理器Intel 4004水平的芯片。
Zeloof表示他用第一个芯片做了一些很酷的项目,如LED闪光器,还有吉他的失真效果器,虽然它们的工作状态都不错,但问题也很明显,像是mosfet(一种可以广泛使用在模拟电路与数字电路的场效晶体管)的阈值电压很高,因此需要连接1-2个9伏的电池,Zeloof想在他的新一代芯片上解决这个问题。

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终于,今年Zeloof的新一代芯片Z2来了,他在其个人博客(http://sam.zeloof.xyz)上分享了其制作的升级版Z2芯片的全过程。
据其透露,Z2芯片采用10微米多晶硅栅极工艺并可容纳100个晶体管,这与Intel 4004处理器的技术相同,Z2芯片是一个简单的10×10晶体管阵列,用于测试、表征和调整过程,但这是向更先进的 DIY 计算机芯片迈出的一大步。

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Zeloof做了12个晶体管的阵列,因此整个硅片上集成了1200个晶体管,英特尔的第一款处理器Intel 4004也只有2000个晶体管,Zeloof表示产自“手工作坊”Z2芯片目前也达到了一个不错的复杂水平,毕竟他一个人干了上个世纪70年代英特尔一组人做的事情,Zeloof表示他很快就会制作更多有趣的电路。

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现在来看一下Zeloof是如何在自家车库“肝”出Z2芯片的。
Zeloof表示这款新芯片是通过多晶硅栅极工艺制造的,它的阈值电压仅为1伏左右,能在非常低的电压下良好的工作,同时,它的逻辑电压可以低至3.3伏到5伏,因此功耗更低,并且可以封装成更小的芯片。

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令人惊异的是,Z2芯片的第一道工序竟然是从PS中开始的,Zeloof表示他使用PS来做芯片设计的原因是PS相较于一些复杂的专业芯片设计软件使用起来更加方便。

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Z2芯片的制作首先通过200mm的晶圆开始,这些初始晶圆比较大,因此Zeloof首先用金刚石划片把晶圆切成了半英寸正方形的小块。

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Zeloof首先要做芯片的掺杂层,它能形成mosfet的源极和漏极,他把切好的晶圆放到自旋机上,然后在上面沉积光刻胶,只需要大概100微升光刻胶就能覆盖整个晶圆,然后以4000rpm的速度旋转30秒将多余的光刻胶旋出。

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